离子束减薄对金属玻璃电镜样品的非均匀刻蚀

摘要：

本文利用透射电子显微镜和原子力显微镜研究了金属玻璃样品在离子束作用后形成的厚度起伏特征.采用高分辨透射电镜和能谱分析结果表明金属玻璃样品中没有发生明显的结构和成分的变化.利用离子束与样品表面作用过程的粗化机理解释了出现这种特征厚度起伏的原因.这种厚度起伏是由材料本身性质和实验条件共同决定的.通过研究离子束与样品的作用方式,有利于确定合适的透射电镜样品制备方法,有助于利用透射电镜研究非晶样品的微观结构.

关键词：金属玻璃、电子显微镜、样品制备、离子减薄、原子力显微镜

所属期刊栏目：31

分类号：TQ171.73;O766+.1;TG115.21+5.3

资助基金：国家自然科学基金资助项目50671104

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：197-201