结合烷烃硫醇小分子自组装单层的原子光刻技术——以壬烷硫醇和12烷硫醇为例

摘要：

采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模,以烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶,光学质量的云母为衬底,用亚稳氦原子光刻技术制备具有纳米台阶的金膜图形,最终用原子力显微镜分析表征.结果表明:这种技术可将具有钠米台阶的正负图形很好地传递到金膜,具有高的可信度.同时,在不同时的实验中光刻图形的重复性很好.

关键词：原子光刻、掩模、自组装单层

所属期刊栏目：27

分类号：O484;TG115.21+5.7;TN16(固体物理学)

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46