非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法

摘要：

在扫描电镜(SEM)中,通过记录和实时处理电子束辐照样品过程中产生的吸收电流La,评价非导电样品的荷电效应.对于非导电样品,La的绝对值很小,且变化幅度很大,这是电荷在非导电样品表面被捕获、积累和释放过程的直接反映.此外,La还可用来评价荷电补偿(改变环境压力、改变成像参数及对样品表面进行导电处理)的效果.

关键词：扫描电镜(SEM)、荷电效应、吸收电流、非导电材料

所属期刊栏目：23

分类号：TN16;TB303(真空电子技术)

在线出版日期：2004-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：265-268