互补的微分析方法-扫描电子显微术和扫描探针显微术

摘要：

本文介绍扫描电子显微术(SEM)和扫描探针显微术(SPM)这两种最常用的微分析方法的新进展.简述了它们各自的构成、工作原理、应用功能及在研究工作中的互补性.

关键词：扫描电子显微术、扫描探针显微术、微分析、互补性

所属期刊栏目：21

分类号：O766.1(晶体结构)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：416-421