基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术

摘要：

在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜.此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性,如表面电荷分布、表面电势等.

关键词：扫描探针显微镜、静电力显微镜、石英晶振、微力传感器

所属期刊栏目：20

分类号：TP212;TN384;TN16(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：664-668