国外MEMS继电器的发展

摘要：

介绍了国外MEMS继电器的最新发展情况.以静电MEMS开关、电磁MEMS开关、磁保持MEMS开关和热MEMS开关为例,描述了MEMS开关的结构和工作原理.特别对静电MEMS开关和磁保持MEMS开关,给出了有关的理论计算.给出了各种类型MEMS开关的比较.介绍了MEMS开关制造方法和射频性能,最后介绍了MEMs开关的应用前景.

关键词：MEMS、继电器、开关、悬臂梁、射频

所属期刊栏目：3

分类号：TN63(电子元件、组件)

在线出版日期：2008-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：468-473