微机电硅谐振器动态建模及同步控制

摘要：

由于微机电(MEM)硅谐振器高能量输出下的周期性振荡、分岔、混沌等非线性因素,使其振荡频率控制精度有限.针对双端固支梁微机电硅谐振器,提出了一种输出反馈同步控制方法,通过振荡器同步以提高其振荡频率控制性能.首先,对双端固支梁MEM硅谐振器系统结构及非线特性进行了分析,并建立了充分考虑系统非线性特性的动态模型;在此基础上,设计了基于同步误差的输出反馈同步控制器,实现了多MEM硅谐振器同步控制,并使得相应的同步误差渐近收敛到零.最后,通过仿真实验证明了所提出方法的有效性.

关键词：动态模型、微机电、同步控制、双端固支梁MEM硅谐振器

所属期刊栏目：52

分类号：TP271(自动化技术及设备)

资助基金：四川省科技计划资助项目2020YFH0027

在线出版日期：2023-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：475-480