紫外传感贴片的叉指结构仿真优化

摘要：

利用COMSOL Multiphysics仿真软件建立了含叉指电极结构的紫外传感贴片三维模型,并对其进行了相关电特性研究.为降低传感器初始电阻,便于后端电路的测量开发,利用控制变量法,基于叉指指宽、间距、厚度等结构参数设置了多个不同的仿真模型.在AC/DC模块下的电流物理场接口下,选择稳态研究,结果表明,不同的结构参数将对电极和传感器的电场分布和初始电阻产生影响.通过对比分析发现,叉指电极的指宽为0.6 mm,间距为0.4 mm,厚度为5 μm时,初始电阻最小.此外,还设计了新型环状叉指电极结构,初步探究了其相关电学特性.研究发现该结构的初始电阻值与优化后的矩形叉指处于同一量级,对相关实验实践具有很好的指导意义.

关键词：COMSOL、电极结构、叉指电极、初始电阻、紫外传感器

所属期刊栏目：52

分类号：TP319(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;重庆市教委科学技术研究项目

在线出版日期：2023-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：451-457