±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计

摘要：

微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点.但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量.该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构,通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析,保证加速度计良好的抗过载能力.仿真结果表明,该结构实现了模态分离避免了模态干扰,且交叉灵敏度均小于0.3％,有效地降低了交叉串扰.

关键词：电容式加速度计、高精度、MEMS、三质量块

所属期刊栏目：52

分类号：TP73(遥感技术)

在线出版日期：2023-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：444-450