焊头机构运动建模与仿真技术的研究

摘要：

为了开发高速高精度焊头机构,确保全自动LED键合机的整机性能,在完成运动方案和结构参数设计后,研究了运用Pro/Engineer运动仿真模块Mcchanism/Pro对整个焊头机构进行运动建模的技术与方法,包括机构模型创建、驱动控制等,进行了机构运动仿真;并对仿真结果进行了分析,验证了所设计的焊头机构的可行性和合理性.成功地将设计出的焊头机构应用到整机设备开发,满足了整机功能和性能的要求.该设备已投入实际生产运行.

关键词：键合机、产品开发、焊头机构、运动学、半导体设备制造、虚拟样机

所属期刊栏目：38

分类号：TP391.9;TH122;TH134(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家863计划2002AA415190;广东省科技计划20088010400011;广东省粤港招标项200649821010、2006168201

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：317-320