基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算

摘要：

结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型.根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线.该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性.本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础.

关键词：频散特性、有效介电常数、瑞利波、递归刚度矩阵法

所属期刊栏目：36

分类号：O423;O347.4(声学)

资助基金：国防科技科研项目

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：952-954,968