引信中应用的加速度传感器的研制

摘要：

讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺.讨论过程中,针对测量不同的加速度值,利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点,将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合,利用体加工技术和高深宽比刻蚀技术,研制出了微阵列加速度传感器的样品.经测试表明符合使用要求,其结果为实用化奠定了基础.

关键词：微传感器、阵列式、加速度、微加工技术

所属期刊栏目：32

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：207-211