TMAH在压力传感器制作中的应用

摘要：

介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用.通过大量的实验得到了较为理想的腐蚀条件,取得了较好的腐蚀结果.

关键词：四甲基氢氧化铵、终止腐蚀、高温压力传感器、各向异性腐蚀、硅杯

所属期刊栏目：29

分类号：TN379(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目69876027

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：609-612