谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展

摘要：

谐振微悬臂梁是一种可以将质量变化转换为频率信号的微质量型传感器,因其分辨率高、灵敏度高、成本低、易于集成和小型化等优点而备受关注.谐振微悬臂梁现已被广泛应用于流量控制、生物医学痕量检测、气态和液态分子分析等领域.近年来,随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术的快速发展,针对谐振式微悬臂梁传感器的研究与应用越来越多,对近年来谐振式微悬臂梁传感器在环境检测、生物医学等领域的具体应用进行了综述,并对未来的发展方向做出了展望.

关键词：谐振式传感器、微悬臂梁、微机电系统、谐振频率、环境监测、生物医学

所属期刊栏目：49

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：11-20