热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究

摘要：

介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用.阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响.研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系.最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论.

关键词：热场发射电子枪、电子束束流、电子束束斑、电子束光刻机

所属期刊栏目：48

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：河北省省级科技计划20351803D

在线出版日期：2022-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-47,52