基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究

摘要：

介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统.采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量.针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率.

关键词：激光三角法;线阵CCD;数字信号处理器;光刻机

所属期刊栏目：47

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：河北省省级科技计划资助20351803D

在线出版日期：2021-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：120-122,132