基于MEMS微镜的混合式扫描同步设计

摘要：

为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统.该系统由STM32微控制器、DDS驱动电路、相位检测电路组成.通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微镜反馈信号频率相同,并检测两路反馈信号的相位差,调节DDS驱动信号的相位实现相位同步.实验表明,系统工作稳定,相位误差不超过1.5％.

关键词：MEMS、STM32微控制器、DDS、激光扫描、相位同步

所属期刊栏目：47

分类号：TP273+.5;TN41(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划2018YFB130550

在线出版日期：2021-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：92-96