小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展

摘要：

介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点.从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发,详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况.最后分析总结了小量程MEMS电容式压力传感器的发展方向与挑战.

关键词：小量程、电容式、微机电系统(MEMS)、压力传感器

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家杰出青年科学基金资助项目51425505

在线出版日期：2015-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,18