4H-SiC无线无源高温压力传感器设计

摘要：

高温压力传感器研制的主要目的是解决高温恶劣环境下的压力测量问题,SiC是制造高温压力传感器的理想材料,结合薄膜技术与陶瓷厚膜技术,提出了一种新型的4H-SiC无线无源电容式高温压力传感器设计方案.应用Ansys有限元分析软件进行仿真,600℃时灵敏度为2.65 MHz/bar,说明传感器在高温下具有较高的灵敏度,对制备过程中的关键工艺——SiC深刻蚀进行了验证,刻蚀深度达到124 μm,满足传感器制备要求.

关键词：4H-SiC、无线无源、高温压力传感器、Ansys、灵敏度、SiC深刻蚀

所属期刊栏目：40

分类号：TN212(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51075375;国家重点基础研究发展计划“973”计划资助项目2010CB334703

在线出版日期：2014-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：81-84,91