基于SoPC的双频激光回馈位移测量系统设计

摘要：

介绍了一种基于SoPC的双频激光回馈位移测量系统的实现方法.该系统利用双频激光回馈理论和数字细分电路,对两路正交的光回馈信号采用五细分和四细分电路相结合进行细分处理,解决了单偏振光测量位移分辨率不高的问题.实验证明了本系统的可行性,精度达到了0.791 nm,是一种应用很好的位移测量系统.

关键词：双频激光回馈、SoPC、位移测量、数字细分

所属期刊栏目：38

分类号：TP274(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64