10.3969/j.issn.0258-7998.2002.10.003
微机械惯性传感器检测平台的设计与应用
一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法.
微机电系统(MEMS)、微机械陀螺(MMG)、检测
28
TP2(自动化技术及设备)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
12-15
10.3969/j.issn.0258-7998.2002.10.003
微机电系统(MEMS)、微机械陀螺(MMG)、检测
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TP2(自动化技术及设备)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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