10.3969/j.issn.1004-4507.2024.04.015
针对键合晶圆的视觉与机械夹持预对准方法设计
在曝光设备中,预对准先将晶圆进行中心定位和角度找正,经过预对准的晶圆传送到工作台中方向及位置一致,保证设备稳定运行.为能满足键合晶圆的预对准要求,采用视觉与机械夹持的方式,设计预对准结构,获得键合晶圆的兼容性,保证设备对键合晶圆的稳定运行.
晶圆寻边、视觉寻边、图像处理技术
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TN305(半导体技术)
2024-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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