制绒上料插片机稳定性提升方法研究

摘要：

通过梳理制绒上料插片机的基本流程以及硅片传输各组件的匹配关系,并对现场常见的3种设备故障进行分析,找出了影响设备稳定的关键因素,最后提出相应的解决方法,可以降低调试难度,加快设备交付速度,提高设备运行稳定性.

关键词：制绒上料机、故障分析、稳定性、解决方法

所属期刊栏目：53

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2024-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70