微波探针台屏蔽腔体的设计及仿真

摘要：

从微波探针台用途及应用领域出发,介绍了微波探针台屏蔽腔体的作用及设计要求;通过使用CST软件中独有的精简模型仿真方法,对屏蔽腔体进行电磁仿真分析评估,并使用导电材料对其屏蔽效能进行了提升;最后对设备的特殊需求及后续发展进行展望.

关键词：微波探针测试系统、屏蔽效能、电磁泄露风险仿真

所属期刊栏目：53

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2024-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53