电子束曝光机子系统光柱控制器设计

摘要：

为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地控制电子束对承放在激光工作台上的掩模基片进行扫描曝光,从而达到高质量生产.

关键词：电子束曝光机、光柱、聚焦、束闸、偏转、数模转换(DAC)转接

所属期刊栏目：53

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2024-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35