支撑机构对工作台振动传递率的影响

摘要：

针对精密工作台,研究其支撑机构对振动传递率的影响.通过仿真计算的方法,对比分析了接口布局、接口刚度、支撑板模态频率及阻尼等对支撑板至工作台的振动传递率影响.结果显示,支撑板的模态频率、支撑板与工作台的接口刚度、接口布局均可改变工作台在整个系统中的模态频率,进而影响振动传递率;同时,阻尼对X、Y、Z向的振动传递率均有抑制作用,阻尼值越大,抑制作用越明显.

关键词：精密工作台、支撑板、阻尼、模态频率、振动传递率

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55