晶圆划片机气浮主轴的常见问题及其处理方法

摘要：

介绍了划片机气浮主轴使用过程中出现的常见问题,分析了问题的起因,针对每一种情况,提出了相应的处理方法;根据这些问题和处理方法,有针对性地在日常使用中定期检查保养,进而提高气浮主轴的使用寿命.

关键词：气浮主轴、划片机、维修方法

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51