等离子去胶机的结构原理与维护调试和故障分析

摘要：

以单片去胶设备为例,介绍了等离子去胶机的结构原理,对其维护标准和调试方法进行了详细阐述,对常见的故障和解决方法进行了总结,最后针对射频自动匹配模块分析了典型维修案例.

关键词：等离子去胶、维修维护、自动匹配

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24