纳米压印光刻工艺及其制造设备

摘要：

简要介绍了纳米压印技术的原理及应用,阐述了热纳米压印、紫外纳米压印、微接触压印等纳米压印工艺,分析了每种工艺的特点及优势;同时总结了纳米压印设备的3个关键技术,重点分析了精密对准调平技术、压力控制技术和模板分离技术.

关键词：纳米压印、对准、调平、压力控制、模板分离

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19