交换版机械手支架的模态分析

摘要：

针对交换版机械手上所用支架,基于有限元理论,运用ANSYS软件进行网格划分和属性定义,进行模态分析.运用LMS Testlab设备进行支架模态试验,结果表明模态仿真结果与试验结果误差在允许范围内,验证了仿真结果和试验结果的准确性、可靠性.为支架的优化设计提供了理论依据,并用于指导实际的生产设计.

关键词：模态试验、有限元分析、支架、掩模版交换、机械手

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-57,63