新型石墨舟等离子体清洗设备的工艺效果与优势

摘要：

新型石墨舟等离子体清洗设备能有效减少清洗时间,减少了非晶硅沉积工艺中磷烷的用量,提高了隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池转换效率,具有很大的竞争优势.研究了等离子体清洗工艺参数对电池转换效率的影响,得到了最佳的石墨舟等离子体清洗工艺参数,即:石墨舟温度300℃、清洗时间150 min,将非晶硅沉积工艺中磷烷的流量减半,制备的TOPCon电池转换效率达24.154％,比湿法设备高0.033％.

关键词：隧穿氧化层钝化接触电池、掺杂非晶硅、石墨舟清洗

所属期刊栏目：52

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2023-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9