空气静压电主轴的稳定性研究

摘要：

空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一,其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命.从自激振动和转轴涡动两个方面,对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机和划切机上的应用,重点对气浮轴承内部气容比、节流塞形式、进气压力、径向轴承结构参数、径向轴承形状误差以及动平衡等方面提出了合理的优化建议和方法,这些建议和方法在实践中起到了良好作用.

关键词：空气静压电主轴、稳定性、自激振动、转轴涡动

所属期刊栏目：52

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64