四象限传感器在高精度物料传输系统中的定位应用

摘要：

基于四象限光电传感器技术,针对大型半导体物料传输设备的高精度定位需求,设计了一套高精度定位和补偿系统.经过验证,这种基于四象限传感器的定位方法可有效应用于高精度物料传输系统,进行定位并且进行位置补偿后完成物料准确定位传输.

关键词：四象限、定位传感器、物料传输

所属期刊栏目：52

分类号：TN311(半导体技术)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-59