半导体设备工艺配方管理系统研究

摘要：

半导体设备工艺配方(以下简称配方),是指半导体设备工作状态下各种工艺参数的组合,其准确与否直接影响到半导体器件的质量.随着半导体设备自动化需求的不断提高,为减少人为误差,主机端需要严格把控设备端的配方内容,对设备端的配方管理提出了较高的要求.基于主机端与设备端的配方交互需求,对其交互方式进行了阐述,介绍了主机端临时修改配方参数的方法,以便在机台端配置少量配方即可实现多种产品生产,为设备端配方相关的功能开发提供参考依据.

关键词：半导体设备、设备自动化、配方管理系统、配方交互

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44