期刊专题

10.3969/j.issn.1004-4507.2023.01.008

半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法

引用
为满足半导体精密设备步进速度和精度的控制要求,步进运动轨迹应具备精度高、冲击小、速度快等特征.根据其运动轨迹特征,设计出四阶S型运动轨迹规划算法,但在实际应用中,一种轨迹规划通常并不能完全覆盖所有的使用场景.为实现能够根据实际需求提前停止的运动轨迹,在四阶运动轨迹基础上,通过使用轨迹拼接的方式设计出平滑停止算法.根据测试结果,四阶运动轨迹可以根据外部触发信号在任意时刻转为平滑停止轨迹,达到快速停止的目的,且轨迹不会产生额外的冲击力,确保了四阶运动轨迹原有的特征.

运动控制、轨迹规划、平滑停止、精密运动

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TN305(半导体技术)

2023-03-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

52

2023,52(1)

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