TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析

摘要：

随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高.对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池(简称"TOPCon")低压硼扩散炉的发展现状,探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向.

关键词：太阳能、光伏发电、隧穿氧化层钝化接触电池、高转化效率、硼扩散

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.4(半导体技术)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-6,59