PSG上料自动化产能分析与设计优化

摘要：

通过拆分上料流程,分析并计算出各个环节运行一个周期所用的时间,找到PSG设备产能瓶颈;改进了纵向传送组件,由之前的一段传输改为两段传输;改进后的设备产能提升明显.

关键词：磷硅玻璃(PSG)、上料自动化、纵向传送

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66