激光干涉测量系统非结构性误差的分析与补偿

摘要：

介绍了测量系统中双频激光干涉仪的测量原理.针对测量系统精度要求高的特点,深入分析了环境及安装因素对测量结果的影响,尤其是激光波长、镜面面形、数据延迟、反射镜安装非正交等4种干涉仪非结构性误差,研究各种误差对测量结果的影响,并给出相应的误差补偿方法.结果表明,这些补偿方法有效地消除了环境及安装误差对整个测量系统的影响.

关键词：激光干涉测量、非结构性误差分析、误差补偿

所属期刊栏目：51

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：53-57