金丝球焊球径控制工艺分析

摘要：

针对键合过程中焊球球径过大进行原因分析,即键合工艺参数不当和劈刀型号不对等.经过实验验证,劈刀端内部斜面角度过大造成上述问题,解决该问题的方法是选择劈刀端内部斜面角度为90°的劈刀.这种劈刀可以满足小焊球及细间距的键合需求.

关键词：斜面角度、劈刀、焊球

所属期刊栏目：51

分类号：TN405.96(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：41-43