精密冲孔工艺在LTCC叠层设备中的应用

摘要：

介绍了利用一组定位孔实现LTCC生瓷片层与层之间精确对位的叠层加工方法,并对该定位孔在生瓷片上的位置进行了分析与设计,最后对加工该定位孔的冲孔机构及冲孔模作了详细介绍.

关键词：精密冲孔模、叠层设备、凹模、凸模

所属期刊栏目：51

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34