N型超高效太阳能单晶硅片智能车间建设与应用

摘要：

通过对晶棒物流自动化、生产过程管控系统以及全流程质量追溯等技术的研究,以太阳能单晶硅片制造数字化、智能化为目标,聚焦太阳能单晶硅片智能车间,构建可复用单晶硅片智能车间解决方案,助力单晶硅片制造企业的数字化转型.

关键词：单晶硅片、智能车间、过程管控

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：60-66