缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用

摘要：

介绍了一种半导体专用设备用的缓存装置及其调度方法,此调度方法适用于晶圆的多种工艺加工过程,针对设备在晶圆传输过程中遇到模块故障或者模块超时问题,合理的启用缓存区工位将有受损风险的晶圆收纳到缓存区,并在故障消除后将晶圆恢复至正常工艺流程的方法.该系统方法最大限度地保护晶圆的安全,同时也为快速恢复正常加工提供了保障.

关键词：化学机械平坦化(CMP)设备、缓存区、调度流程

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55