砂轮划片机非接触式测高准确度的分析研究

摘要：

刀片磨损是影响砂轮划片机切割品质的重要因素之一,需要定期检测刀片在划切过程中的磨损量,同时对进刀量予以补偿.详细介绍了用于测量刀片磨损量的接触式测高和非接触式测高2种方法,通过分析计算不同装配偏差值对非接触式测高偏差值的影响,得出光纤检测点与刀片中心运动轨迹线的水平偏差值对刀片磨损量的检测偏差值有一定影响的,需要在组装过程中通过减小水平偏差值来提高非接触式测高的准确度.

关键词：刀片磨损量、非接触式测高、检测偏差、进刀量补偿

所属期刊栏目：51

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：36-38,66