基于数字孪生技术的晶圆级测试平台

摘要：

从数字孪生技术以及晶圆级测试现状出发,根据数字孪生技术需求,详细介绍了数字化晶圆级测试系统构建内容,进行了系统搭建,并对数字孪生技术在本领域后续发展方向进行了展望.

关键词：数字孪生、半导体、晶圆级测试

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：32-35,46