硅单晶测试参数的差异分析

摘要：

为实现对单晶参数的综合分析,指导单晶制备,迫切需要分析各单晶参数之间的关联性.采用统计分析方法,针对N<111>轻掺P单晶进行了差异分析,发现寿命与电阻率呈显著负相关,旋涡情况与寿命、电阻率不均性相关性不显著.对N<111>重掺As单晶进行了差异分析,发现单晶段部位与氧含量显著相关,氧含量与径向电阻率变化显著相关.

关键词：硅单晶、假设检验、少子寿命、径向电阻率变化、氧含量

所属期刊栏目：51

分类号：TH89

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31