用于离子注入机的高压放大器的研制

摘要：

针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状,研制了一种双极高速高压功率放大器,输出最大峰值电压为±20 kV,输出最大功率为400 W.为了提高耐压能力,功率管以双极型晶体管为主体,由MOSFET和IGBT串联,采用AB类工作模式通过推挽放大器的上、下两个功率管实现放大功能.经过仿真实验,实现了输出电压放大,同时实现了信号低噪声、响应频带宽、压摆率高、输出响应快等特性,对提高我国半导体设备水平以及国产化程度具有重要意义.

关键词：离子注入机、AB类放大器、高压放大器

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-23