GaAs多线切割切片翘曲度的有限元分析

摘要：

砷化镓切片的翘曲度是多线切割过程中必须控制的质量因素.通过建立多线切片过程的顺序耦合热应变分析有限元模型,以切片表面节点位移反映切片翘曲度.首先建立温度场三维有限元模型,模拟切割过程温度场分布;然后以温度场结果为边界条件,建立热应变分析模型;按照不同的张紧力、进给速度、钢线速度等工艺参数组合进行仿真模拟,计算出相应的翘曲度值,研究翘曲度与各工艺参数之间的关系.结果表明:张紧力增加,翘曲度减小;进给速度减小,翘曲度减小;线速度减小,翘曲度减小.

关键词：砷化镓、多线切割、翘曲度、有限元分析

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17