离子注入机用吸极电源的设计

摘要：

介绍了离子注入机用的最大电压为100 kV、引出电流为24 mA的吸极电源设计.由于吸极电源的电压非常高,电源的尺寸应尽量小;而且吸极电源的高压输出线要采用插拔方式,并对吸极电源的绝缘提出了非常高要求.为此,提出了一种双层的倍压结构设计和采用倍压整流电路整体部件化的设计方案.

关键词：离子注入机、吸极电源、双层倍压

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2022-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-51,60