一种基于智能控制算法的芯片烘箱PID温度控制器

摘要：

将Smith预估器与PID控制结合应用到芯片高温固化设备温控系统中,用以改善设备的大惯性、时变时滞问题;针对Smith预估参考模型不准确带来的控制劣化效应,引入机器学习中的BP神经网络理论建立在线参考预估模型,最大限度地消除了系统特征方程中的滞后环节,优化了Smith预估器的前馈补偿能力;在成本不变的前提下,改进了设备的综合性能,具备较高的推广价值.

关键词：PID控制、智能控制、封装测试、芯片烘箱

所属期刊栏目：51

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：甘肃省教育厅教育揭榜挂帅项目;甘肃省高等学校创新基金项目

在线出版日期：2022-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：21-27,33