微波等离子体平板式PECVD设备控制系统设计

摘要：

研究了微波等离子体平板式PECVD设备的控制系统,主要讨论了微波控制系统,并给出了实现的关键代码;介绍了温度控制系统及其控制方法;设计了系统自动工艺流程.

关键词：微波、等离子体、平板式PECVD、控制系统

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47